私が所属する製品設計第2グループでは、関係部署と連携して仕様を決定し、全体を見ながら電気設計や機構設計の差配を進めています。いってみれば装置設計の窓口的な役割ですね。もちろん、機構設計を中心にグループ独自の設計テーマもたくさんあります。
たとえば、ここ数年にわたって継続的に手がけている下部電極の設計。その名の通りウェーハの下に直接設置する電極で、ウェーハにいちばん近い位置にあるために、エッチングの制御にダイレクトに影響するユニットです。
きっかけは数年前、多機能にわたる顧客からの要望に対応すべく、過去に例がないほどの設計変更に挑戦。その技術的な核となったのが、ウェーハの温度や電位の制御を司る下部電極で、試行錯誤を重ねた末、ヒーターによる加熱方式の電極で所期の要求性能を実現。現在では当社のエッチング装置の大半で、この制御方式の電極が採用されています。
もちろん装置性能を左右する重要なユニットですから、下部電極の設計にゴールはありません。研究開発部門の電極開発チームともコラボしながら、性能の改善や新たなブレークスルーに日々挑戦中。愛着あるユニットでもあり、いずれは「下部電極のことは北田に聞け」といわれるくらいのスペシャリストに…と、心ひそかに狙っています。
私は、笠戸地区のある下松市のお隣、周南市の出身。子どものころから「大人になったら、この大きな工場で働きたいな」と夢を広げ、微細加工技術の研究に没頭した学生時代を経て、思い描いた通りの未来を手に入れました。今の目標は、中国をはじめとするアジアでのさらなる拡販。当面は5年後に照準を定め、ブレークスルーを加速させます。

電気設計チーム18人を統括しています。課長に相当します。
電気設計の例を挙げると、プラズマ制御用電源装置の開発があります。マイクロ波と呼ばれる高周波電力でプラズマを制御するのですが、出力の中断や切り替えによって、求められるエッチング性能を実現できるようにします。家庭でいうと、一定の火力しか使えなかったコンロの火力を強弱自在に調整できるようにするイメージですね。こうしたプラズマ制御によって、ウェーハの加工寸法が20ナノから10ナノに半減。すると実装面積がぐっと小さくなって、たとえばスマホのデータ容量が16ギガから64ギガに増える…こんなふうに、半導体技術の進歩にダイレクトにつながっているのが、私たちの仕事です。
電源装置の開発の他にも、エッチング装置1台に数十枚単位で搭載されるプリント基板の設計なども担当します。大電力から小信号まで電気に関わるきわめて広範囲な設計を担当します。
装置性能のプレゼンでアメリカやアジア各国の客先に飛ぶことも珍しくありません。一通りの英語力は必要で、社内の英会話講座などもありますが、大切なのは語学力より誠実な姿勢。相手の気持ちを汲み取り、こちらの意図をしっかり伝える誠意こそ大切…和と誠を重んじる「日立創業の精神」の表れです。
「日立創業の精神」は会社の共通認識として根付いていて、「お客様に迷惑をかけないこと」をモットーに、品質に関する社内基準はかなり厳しめです。ですがそのせいか、お客様より製品の品質や安定稼働を高く評価する声もお聞きします。プライドを胸に、誠実に挑む仕事。われながら、悪くない毎日だと思いますね。